首頁 >涂層設備 >LED設備 > 反應離子刻蝕設備

反應離子刻蝕設備.jpg

 

 

星弧涂層StarRIE-II等離子清洗設備是一款專為LED行業研發的設備,該設備采用等離子反應刻蝕原理,對晶圓片、芯片、封裝支架等進行清洗或刻蝕的真空設備。由于采用射頻等離子體技術,StarRIE-II可對導電和非導電材料(含半導體材料)表面的有機物質和氧化物質進行有效去除,并且不會對清洗對象的基底材料產生損害,能有效應用于半導體晶元、LED芯片、LED封裝等行業的清洗或刻蝕工藝中。StarRIE-II設備采用批處理式設計,一次可以裝載2吋晶元150片,具有生產效率高、工藝變化柔性大的特點。設備具有清洗/刻蝕的自動工藝,用戶也可根據自身需求獨立開發工藝。本系列設備已獲得江蘇省高新科技產品認證。

技術特點:
  電源:射頻1000W,固態自動匹配
  反應氣體:Ar,O2,最多可配置4路
  最大刻蝕速率:250A/min 
  刻蝕均勻性:±5%
  沖放氣體N
  真空系統:機械選片泵架油霧過濾器
  抽速45m3/h
  控制方式:PLC加觸摸屏全自動控制

典型應用:
  LED芯片光阻去除
  晶元清洗 
  有機物質去除
  氧化物去除
  反應離子刻蝕和離子刻蝕/清洗
  藍膜殘膠去除
 
ico1.jpg

 

菠菜网站大全白菜 凭祥市| 新巴尔虎左旗| 陕西省| 濉溪县| 兰考县| 定襄县| 焦作市| 汝州市| 台北县| 六盘水市| 钦州市| 张家界市| 嘉荫县| 铜鼓县| 临海市| 庆云县| 平谷区| 来宾市| 玉溪市| 蓬安县| 罗城| 邓州市| 集贤县| 鲁山县| 昌图县| 田东县| 临泽县| 邻水| 涡阳县| 海盐县| 石狮市| 贡嘎县| 宣恩县| 石家庄市| 犍为县| 沾化县| 凤阳县| 潞城市| 桦甸市| 侯马市| 湖南省| 镇雄县| 长乐市| 清河县| 沙坪坝区| 万年县| 汶上县| 永新县| 景洪市| 宣汉县| 天峻县| 偃师市| 灵台县| 姚安县| 凤山市| 湖北省| 新晃| 吉水县| 秦安县| 明光市| 湖州市| 黎川县| 黄石市| 万源市| 沙湾县| 岳西县| 阿拉尔市| 故城县| 定边县| 卫辉市| 鲜城| 龙井市| 普安县| 建湖县| 浮梁县| 兴国县| 铁岭县| 阿鲁科尔沁旗| 平谷区| 大竹县| 双鸭山市| 屏东市| 长子县| 河南省| 安顺市| 雷波县| 离岛区| 绵阳市| 乌海市| 大田县| 甘洛县| 施秉县| 沙田区| 同德县| 文化| 宕昌县| 安顺市| 嘉义县| 门源| 泽州县| 张家界市| 邢台县| 崇信县| 新兴县| 太原市| 河南省| 都安| 潼关县| 永善县| 景东| 泾川县| 长丰县| 满城县| 聂荣县| 班玛县| 洪泽县| 眉山市| 嘉鱼县| 通州市| 左贡县| 沐川县| 博野县| 宾阳县| 宜宾县| 九龙城区| 南投市| 九寨沟县| 沿河| 峨眉山市| 眉山市| 海安县| 永登县| 黄大仙区| 防城港市| 宜黄县| 商南县| 茂名市|